东莞市德欣电子科技有限公司 自主研发,设计 生产销售 DSN系列产品-气体质量流量控制器以及相关产品,适用于半导体、真空电子、太阳能、光伏、分析仪器、制气、医疗、航空航天、生物技术等领域内具有广泛的用途... 东莞市德欣电子科技有限公司 自主研发,设计 生产销售 DSN系列产品-气体质量流量控制器以及相关产品,适用于半导体、真空电子、太阳能、光伏、分析仪器、制气、医疗、航空航天、生物技术等领域内具有广泛的用途...
德欣电子科技

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2016-08-25

什么是质量流量计?什么是质量流量控制器?

质量流量计,即Mass Flow Meter(缩写为MFM, 是一种精确测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。
质量流量控制器, Mass Flow Controller(缩写为MFC, 不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
质量流量计/质量流量控制器的主要优点是什么? 
(1)流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
对于多数流量测控系统而言,很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计,压力及温度的波动将导致较大的误差;对于质量流量计/质量流量控制器,则一般可以忽略不计。
(2)测量控制的自动化
质量流量计/质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。对质量流量控制器而言,还可以实现流量的自动控制。通常, 模拟的MFC/MFM输入输出信号为0+5V420mA, 数字式MFC/MFM还配有RS232RS485数字串行通讯口, 能非常方便地与计算机连接, 进行自动控制。
(3)精确地定量控制流量
质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。
(4)适用范围宽
有很宽的工作压力范围,我们的产品可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体,如HCL);有很宽的流量范围,我们的产品最小流量范围可达05 sccm,最大流量范围可达0200 slm。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%, 流量控制范围是满量程的2100% (量程比为-- 50:1), 因此在很多领域得到广泛应用。
质量流量控制器的工作压差范围是个什么概念?
质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门,阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程,在工作的过程当中,控制器的入口和出口之间会产生一个气压降,即压差。MFC的工作压差范围通常为0.10.3MPa,若压差低于最低值(0.1 MPa),有可能控制达不到满量程值;若高于最高值(0.3MPa),有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时,无论用户工作的反应室是真空还是高压,应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内,并且要求气压要相对稳定。
使用挥发性液体蒸发汽,气压很低,如何定制质量流量控制器的低压降产品?
部分用户使用挥发性液体蒸发汽做气源(如用丙酮等),气压很低,用普通MFC,不能正常工作。这时用户需要向供货商特别声明,定制低压降的质量流量控制器。通常可以定制工作压差低于0.01MPaMFC,这时MFC的工作压差范围,也会变小。
注意使用挥发性液体蒸发汽时,不能让汽化物在MFC中结露,结露会影响MFC的正常工作。为了防止结露,可以对管路和MFC适当加温,但MFC的工作环境温度通常不得超过50℃。如果用户要MFC的工作环境温度超过65℃以上,需要特殊购买高温MFC产品。
质量流量控制器能用于控制腐蚀性气体和特殊气体吗?如何选择密封材料?
质量流量控制器可以用于控制各种气体,包括腐蚀性气体和特殊气体,但是要注意,对于使用腐蚀性气体和特殊气体,需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时,需要向供货厂商特殊声明使用气体,以免因为选型或选择密封材料错误,造成严重损失。
通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等,密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体,包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议最好采用金属密封的MFC
由于金属密封的MFC价格较高,通常要求不高的场合,均采用橡胶密封的MFC。如果不特殊声明,MFC都采用氟橡胶密封,可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体,例如可以用于氯化氢等卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体,需要采用特种橡胶。氨气——需要采用耐氨橡胶,如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶;有机溶剂汽氛(丙酮、甲苯等)——需要采用硅橡胶;三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等——需要采用全氟橡胶。
怎样进行不同气体的质量流量换算?
产品出厂一般是按氮气标定﹑按氮气流量确定流量规格。用同一规格的MFM/MFC测量不同的气体,当流量检测值相同时,实际的流量值可能不同。我们在说明书中给出了不同气体相对于标定气体(氮气)的质量流量转换系数。如果您使用的产品是标准出厂产品(按氮气标定显示),而需要知道实际使用气体的质量流量时,先在产品说明书中找到实际使用气体的转换系数。在测量过程中,以此系数乘以流量显示值即是实际使用气体的质量流量;反之,在确定所购产品的量程时,以实际使用气体的最大期望流量值除以转换系数,即是相应的氮气标定产品的流量值。
空气、O2H2COHCLHF等气体,其转换系数约为1.0,一般可直接用按氮气标定显示的产品,不必换算。
模拟式MFC怎样和计算机相连接?
计算机可以直接和MFC相连,也可以通过流量显示仪和MFC相连。对于模拟的MFC,一般需要在计算机上配A/DD/A转换板,模拟/数字转换用于接收流量测量值,数字/模拟转换用于给出0-5VDC流量设定信号,这种转换板在工业控制产品市场上很容易买到;如果是MFC直接与计算机连接,需要用户自己提供±15V电源(要求电源抗干扰能力要强);将设定线接计算机D/A输出;将流量检测线接计算机A/D输入端;MFC信号地与计算机信号线连结即可。如果MFC通过流量显示仪与计算机连接,将流量显示仪的外设线接计算机D/A输出;将流量检测线接计算机A/D输入端;显示仪的信号地与计算机信号线连结即可。
当然,另外还需要配相应的软件。

 






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